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　　本标准是根据GB／T1.1—2009给出的规则起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利．本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。

本标准由全国半导体设备和材料标准化委员会(TC 203)提出并归口。

本标准负责起草单位：四川成洪磷化工有限责任公司、江苏江阴市润玛电子材料有限公司、湖北兴发化工集团股份有限公司、苏州电子材料厂有限公司、苏州晶瑞化学有限公司。

本标准主要起草人：李全东、肖遥、王文武、戈士勇、何珂、李少平、钟尉、尤家栋、刘兵。

前言

1  范围

2  规范性引用文件

3  产品分类

4  要求

5试验方法

  5．1  安全提示

  5．2  一般规定

  5．3  外观

  5．4  磷酸含量

  5．5  易氧化物含量

  5．6  金属离子含量

  5．7  阴离子含量

  5．8  颗粒测定

6  检验规则

  6．1  组批与抽样

  6．2  检验项目

7  标志、标签

8  包装、运输、贮存、操作

附录A(资料性附录)  仪器工作条件

附录B(资料性附录)  离子色谱图

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